文章来源: 联众科技 发布时间: 2019-08-06
磁控溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。透磁率可以作为评估磁性靶材透磁性能的有效指标,其测试方法还没有相应的行业标准,很大程度上制约了国内磁性溅射靶材的研发、制作及工业化生产。
1、测试设备:CIM-3140RMT透磁率测量装置 CIM-3140RMT透磁率测量装置是一款样品透磁测量设备,主要用于磁性溅射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等参数测量,并对测试结果进行统计分析,可绘制PTF曲线图、%PTF曲线图。 具有文件管理、测试和数据(图形)输出等功能, 可满足用户对磁性溅射靶材的测试、数据(报告)输出及数据管理等需求。
2、设备特点
项目 |
指标 |
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系统控制 |
PC+6616PX 16位数据采集卡 |
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X单轴行程 |
0-250mm,电动调节 |
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Z单轴行程 |
0-200mm,手动调节 |
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R旋转轴 |
角度刻线间隔5度,旋转速度1-6度/秒可调 |
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测试时间 |
测试时间可调,最快60秒/圈 |
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测量范围 |
试样外径Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm |
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磁强计 |
量程 |
1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs |
测量精度 |
满量程达0.5% |
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测量参数 |
PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp |
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A/D数据采集 |
16Bits,旋转分辨率:3600点/360º |
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测量结果重复度 |
小于0.5% |
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测量软件 |
Windows 7运行环境,测量数据可以EXCEL形式保存在硬盘,可随时查询 |
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测量报告 |
透磁场坐标和透磁率坐标 |
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合格判定 |
按标准进行判定 |